Verfahren zur Herstellung eines Diamantsubstrats, Diamantsubstrat und Freistehendes Diamantsubstrat
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, National University Corporation Kanazawa University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3211657
- Aktenzeichen
- EP17000294
- Anmeldetag
- 23. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 15. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
The present invention provides a method for manufacturing a diamond substrate, including: a first step of preparing patterned diamond on a foundation surface, a second step of growing diamond from the patterned diamond prepared in the first step to form the diamond in a pattern gap of the patterned diamond prepared in the first step, a third step of removing the patterned diamond prepared in the first step to form a patterned diamond composed of the diamond formed in the second step, and a fourth step of growing diamond from the patterned diamond formed in the third step to form the diamond in a pattern gap of the patterned diamond formed in the third step. There can be provided a method for manufacturing a diamond substrate which can sufficiently suppress dislocation defects, a high-quality diamond substrate, and a freestanding diamond substrate.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
National University Corporation Kanazawa University - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.