Verfahren zum Photolithographiefreien, Umgekehrt Aktivem Ätzen

EP3213343 Art B1 3. März 2021

Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3213343
Aktenzeichen
EP15791164
Anmeldetag
27. Oktober 2015
Veröffentlichung
3. März 2021
Erteilung
3. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Microchip Technology Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Microchip Technology

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.

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