Vorrichtung zur Injektion von Gas in eine Filmbildungsvorrichtung

EP3214205 Art B1 19. August 2020

Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3214205
Aktenzeichen
EP14905132
Anmeldetag
29. Oktober 2014
Veröffentlichung
19. August 2020
Erteilung
19. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455B01J4/00C23C16/503H01L21/31H05H1/24C23C16/452C23C16/513C23C16/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

940 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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