Drehgeber mit Laserinterferometer zur Bestimmung von Positionsveränderungen des Stators

EP3214414 Art A3 20. September 2017

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3214414
Aktenzeichen: EP17163605
Anmeldetag: 26. Oktober 2011
Veröffentlichung: 20. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01D5/347G01D5/244G01D5/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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