Verfahren zur Herstellung einer Sensorvorrichtung
Anmelder: Sensirion AG 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3214434
- Aktenzeichen
- EP16158555
- Anmeldetag
- 3. März 2016
- Veröffentlichung
- 4. Dezember 2019
- Erteilung
- 4. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N27/22
Abstract
A method for fabrication of a sensor device (1) for measuring a parameter of a test substance, comprising: i) providing a substrate; ii) arranging on its front side a structured first protection layer (2); iii) arranging on the substrate with the structured first protection layer (2) a stack including first and second electrodes (3,4), a sacrificial layer between the first and second electrodes (3,4); and iv) etching in an etching step from the back side through the substrate such as to remove material of the semiconductor substrate and the sacrificial layer. The present invention also relates to such a sensor device (1).
Anmelder
- Firma
- Sensirion AG
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.
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