Verfahren zur Thermischen Herstellung einer Selektiven Kobaltschicht

EP3216048 Art A1 13. September 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3216048
Aktenzeichen
EP15858000
Anmeldetag
5. November 2015
Veröffentlichung
13. September 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/285H01L21/768C23C16/04C23C16/06// H01L23/532
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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