Polierverfahren und Polierzusammensetzung

EP3216562 Art B1 12. Oktober 2022

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3216562
Aktenzeichen
EP15856847
Anmeldetag
30. Oktober 2015
Veröffentlichung
12. Oktober 2022
Erteilung
12. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14H01L21/304C09G1/02B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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