Mems mit einer Membran aus Amorphem Kohlenstoff
EP3216753
Art B1
4. September 2019
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3216753
- Aktenzeichen
- EP17159400
- Anmeldetag
- 6. März 2017
- Veröffentlichung
- 4. September 2019
- Erteilung
- 4. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00B81C1/00
Abstract
L'invention concerne une membrane en carbone amorphe pour un microsystème électromécanique, la membrane en carbone amorphe présentant une épaisseur comprise enre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm, dans laquelle la membrane en carbone amorphe présente un taux d'hybridation de type sp 3 compris entre 20% et 40%.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.940 Patente in unserer Datenbank