Entgiftungsvorrichtung
EP3219380
Art B1
21. Oktober 2020
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3219380
- Aktenzeichen
- EP15858179
- Anmeldetag
- 5. November 2015
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Erteilung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/40B01D21/26B01D53/68H01L21/31B01D53/78B01D47/14B01D53/96C23C16/44C23C16/52B01D53/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte