Optischer Abstandssensor und Positionsmesseinrichtung mit einem Derartigen Abstandssensor

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3220106

Aktenzeichen

EP17158798

Anmeldetag

2. März 2017

Veröffentlichung

16. Mai 2018

Erteilung

16. Mai 2018

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/38G01B11/02G01B11/06

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen optischen Abstandssensor sowie eine Positionsmesseinrichtung mit einem derartigen Abstandssensor. Der Abstandssensor umfasst eine erste Lichtquelle, einen Reflektor, zwei als Transmissionsgitter ausgebildete Abtastgitter, eine Detektoranordnung sowie eine Auswerteeinheit. Die von der ersten Lichtquelle emittierten Strahlenbündel beaufschlagen den Reflektor, erfahren eine Rückreflexion und durchlaufen anschließend das erste und zweite Abtastgitter. In einer Detektionsebene der Detektoranordnung resultiert aus der Wechselwirkung der Strahlenbündel mit den Abtastgittern ein periodisches Streifenmuster mit einer definierten Streifenmusterperiode. Die Auswerteeinheit ist dazu ausgebildet und eingerichtet, aus der ermittelten Streifenmusterperiode und weiteren bekannten Geometrie-Parametern den Abstand zwischen der Detektionsebene und dem Reflektor entlang einer ersten Messrichtung zu bestimmen, die senkrecht zum Reflektor orientiert ist. Der Abstandssensor kann in eine Positionsmesseinrichtung integriert werden, die eine Positionsbestimmung entlang einer zweiten Messrichtung ermöglicht

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete