Anwendung einer Erdalkalimetallhaltigen Reinigungslösung zum Reinigen eines Halbleiterelements

EP3220408 Art B1 3. Juni 2020

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3220408
Aktenzeichen: EP15858769
Anmeldetag: 2. Oktober 2015
Veröffentlichung: 3. Juni 2020
Erteilung: 3. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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