Reinigungslösung für ein Halbleiterelement zur Unterdrückung von Schäden an Kobalt und Verfahren zum Reinigen eines Halbleiterelements damit

EP3220409 Art B1 5. August 2020

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3220409
Aktenzeichen: EP15859334
Anmeldetag: 2. Oktober 2015
Veröffentlichung: 5. August 2020
Erteilung: 5. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304C11D7/06C11D7/10C11D7/18C11D7/32C11D7/38H01L21/308H01L21/02H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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