Beschichtetes Druckunterkissen zum Chemisch-Mechanischen Polieren

EP3221085 Art B1 29. Mai 2024

Anmelder: CMC Materials LLC, CMC Marerials LLC, CMC Materials, Inc., Cabot Microelectronics Corporation, Nexplanar Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3221085
Aktenzeichen
EP15808296
Anmeldetag
12. November 2015
Veröffentlichung
29. Mai 2024
Erteilung
29. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/22B24B37/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CMC Materials LLC
CMC Marerials LLC
CMC Materials, Inc.
Cabot Microelectronics Corporation
Nexplanar Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra Birmingham, Großbritannien
598
Patente gesamt
34
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Organische Chemie Kunststoff- & Polymertechnik
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