Verfahren zur Optischen Gaskonzentrationsmessung

EP3222995 Art B1 16. November 2022

Anmelder: Fujikin Incorporated, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3222995
Aktenzeichen: EP15860939
Anmeldetag: 20. November 2015
Veröffentlichung: 16. November 2022
Erteilung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/31C23C16/18C23C16/52H01L21/205G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fujikin Incorporated
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

2.159 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von