Vorrichtung und Verfahren zur Bereitstellung eines Fluids für Immersionslithographie

EP3223053 Art A1 27. September 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3223053
Aktenzeichen: EP16207513
Anmeldetag: 16. Juli 2004
Veröffentlichung: 27. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/00G03B27/52G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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