Dielektrische Schicht und Elektronische Komponente
EP3223304
Art B1
15. September 2021
Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3223304
- Aktenzeichen
- EP17161382
- Anmeldetag
- 16. März 2017
- Veröffentlichung
- 15. September 2021
- Erteilung
- 15. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/316H01L49/02H01G4/08H01G4/10H01G4/12H01G4/33C04B35/01C04B35/03C04B35/04C04B35/057C04B35/622
Abstract
A dielectric film containing an alkaline earth metal oxide having a NaCl type crystal structure as a main component, wherein the dielectric film has a (111)-oriented columnar structure in a direction perpendicular to the surface of the dielectric film, and in a Cu-Kα X-ray diffraction chart of the dielectric film, a half width of the diffraction peak of (111) is in a range of from 0.3° to 2.0°.
Anmelder
- Firma
- TDK Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
TDK Corporation
TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.
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