Positionskodierer, Positionsmesssystem und Lithografische Vorrichtung

EP3224577 Art B1 7. August 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3224577
Aktenzeichen
EP15784669
Anmeldetag
22. Oktober 2015
Veröffentlichung
7. August 2019
Erteilung
7. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01D5/38G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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