Lithographievorrichtung mit einer Vielzahl von Einzeln Ansteuerbaren Schreibköpfen

EP3224675 Art A1 4. Oktober 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3224675
Aktenzeichen: EP15719682
Anmeldetag: 28. April 2015
Veröffentlichung: 4. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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