Verfahren und Vorrichtung zur Unterseitigen Behandlung eines Substrats
EP3224859
Art B1
30. Oktober 2024
Anmelder: RENA Technologies GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3224859
- Aktenzeichen
- EP15830976
- Anmeldetag
- 24. November 2015
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2024
- Erteilung
- 30. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/677H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- RENA Technologies GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland