Optisches Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP3229076 Art A3 13. Dezember 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3229076
Aktenzeichen: EP17158868
Anmeldetag: 26. Oktober 2004
Veröffentlichung: 13. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027G02B19/00G02B27/28G02B5/30G02B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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