Verbundsubstratherstellungsverfahren und Verbundsubstrat

EP3229260 Art A1 11. Oktober 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3229260
Aktenzeichen
EP15864392
Anmeldetag
22. Oktober 2015
Veröffentlichung
11. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/02H01L21/265H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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