Maskenanordnung zur Maskierung eines Substrats in einer Prozesskammer

EP3230488 Art A1 18. Oktober 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3230488
Aktenzeichen: EP14821531
Anmeldetag: 10. Dezember 2014
Veröffentlichung: 18. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/673H01L21/677C23C14/04C23C16/04C23C16/458H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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