Verfahren zur Bestimmung der Dicke einer Dünnschicht durch Drei-Wellenlängen-Interferometrie und Zugehörige Computerprogrammprodukt, Speichermittel und System
EP3230686
Art A1
18. Oktober 2017
Anmelder: Université du Maine, Centre National de la Recherche Scientifique, Universidad Nacional de Colombia 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3230686
- Aktenzeichen
- EP15807675
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 18. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Université du Maine
Centre National de la Recherche Scientifique
Universidad Nacional de Colombia - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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