Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP3232270 Art A3 13. Dezember 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3232270
Aktenzeichen: EP17156239
Anmeldetag: 8. Mai 2006
Veröffentlichung: 13. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027G02B13/24G02B17/08G02B1/06G02B21/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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