Verfahren zur Modifizierung einer Oberfläche aus Elektrisch Leitfähigem Oxid, Verwendung zur Abscheidung von Kupfer auf Dieselbe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3232481

Aktenzeichen

EP17166706

Anmeldetag

14. April 2017

Veröffentlichung

28. November 2018

Erteilung

28. November 2018

Rechtsraum

EP

IPC

H01L31/0224C25D5/00C25D5/02C25D7/12// C25D3/38

Abstract

La présente invention concerne un procédé pour modifier la surface d'un substrat en oxyde métallique conducteur de l'électricité et notamment en ITO, comprenant les étapes suivantes consistant à : (i) mettre en contact cette surface avec une solution contenant des ions cuivriques (Cu<2+>) et de l'ammoniac puis laver et éventuellement sécher la surface ainsi obtenue ; et (ii) mettre en contact la surface obtenue suite à l'étape (i) avec une solution contenant du tétraborohydrure de sodium puis laver et éventuellement sécher la surface dudit substrat en oxyde métallique conducteur. La présente invention concerne l'utilisation d'un tel procédé dans le cadre de la métallisation par du cuivre d'un substrat en oxyde métallique conducteur ainsi que les surfaces d'un substrat en oxyde métallique conducteur modifiée et métallisée ainsi obtenues.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete