Überwachungssystem für Abscheidung und Verfahren zum Betrieb davon

EP3234983 Art A1 25. Oktober 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3234983
Aktenzeichen: EP15870910
Anmeldetag: 15. Dezember 2015
Veröffentlichung: 25. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/66G03F1/22G03F1/24H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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