Plasma-Cvd-Vorrichtung

EP3239351 Art A1 1. November 2017

Anmelder: AGC Inc., Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3239351
Aktenzeichen: EP15872645
Anmeldetag: 1. Dezember 2015
Veröffentlichung: 1. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/503C23C16/44H01L21/31H01L21/365H05H1/46H01J37/32C23C16/458C23C16/50H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AGC Inc.
Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von