Dreidimensionale Koordinatenmessvorrichtung

EP3239649 Art B1 17. April 2019

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3239649
Aktenzeichen
EP16743570
Anmeldetag
29. Januar 2016
Veröffentlichung
17. April 2019
Erteilung
17. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01B5/008G01B5/00B23Q5/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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