Spiegel zur Reflexion von Euv-Strahlung mit Spannungskompensation und Verfahren zu dessen Herstellung

EP3239745 Art B1 1. Januar 2020

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3239745
Aktenzeichen: EP17167326
Anmeldetag: 20. April 2017
Veröffentlichung: 1. Januar 2020
Erteilung: 1. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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