Messvorrichtung und Messverfahren, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren sowie Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3239776 Art B1 7. Juli 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3239776
Aktenzeichen: EP15873079
Anmeldetag: 22. Dezember 2015
Veröffentlichung: 7. Juli 2021
Erteilung: 7. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00G03F7/20G01D5/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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