Detektionsvorrichtung und -Programm

EP3239817 Art A1 1. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3239817
Aktenzeichen: EP14909122
Anmeldetag: 26. Dezember 2014
Veröffentlichung: 1. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G06F3/041G06F3/042G06F3/044

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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