Steuerungsvorrichtung, Elektronisches Instrument, Steuerungsverfahren und Programm

EP3239818 Art A1 1. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3239818
Aktenzeichen
EP14909123
Anmeldetag
26. Dezember 2014
Veröffentlichung
1. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G06F3/16G06F3/147G06F3/01G06F3/03G06F3/044G06F3/041G06F3/042G06F3/0481G06F3/0488G09G3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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