Reinigungszusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Dünnen Substraten

EP3240018 Art B1 15. Dezember 2021

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3240018
Aktenzeichen
EP17167334
Anmeldetag
20. April 2017
Veröffentlichung
15. Dezember 2021
Erteilung
15. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/311C09J183/04H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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