Dreiachsiger Kapazitiver Mems-Beschleunigungsmesser auf einem Gemeinsamen Substrat

EP3241027 Art B1 8. März 2023

Anmelder: Mikrosistemler Sanayi ve Ticaret Limited Sirketi, Aydemir, Akin, Akin, Tayfun 🇹🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3241027
Aktenzeichen
EP14837012
Anmeldetag
31. Dezember 2014
Veröffentlichung
8. März 2023
Erteilung
8. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01P15/08B81B5/00B81B7/00B81C1/00G01P15/125G01P15/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Mikrosistemler Sanayi ve Ticaret Limited Sirketi
Aydemir, Akin
Akin, Tayfun
Land
🇹🇷 Türkei

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