Adaptive Teileprofilerzeugung über Unabhängige Seitenmessung mit Ausrichtungsfunktionen

EP3241034 Art A1 8. November 2017

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3241034
Aktenzeichen: EP15875938
Anmeldetag: 8. Dezember 2015
Veröffentlichung: 8. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28G01R31/00G01R31/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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