Verfahren zur Kontinuierlichen, Grossskaligen Herstellung von Funktionalen Nanostrukturen

EP3241232 Art B1 21. Dezember 2022

Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3241232
Aktenzeichen: EP15876153
Anmeldetag: 29. Dezember 2015
Veröffentlichung: 21. Dezember 2022
Erteilung: 21. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/04C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Georgia Tech Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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