Laserablationssystem mit Variablem Energiestrahl zur Minimierung von Ätzstoppmaterialschäden
Anmelder: Suss Microtec Photonic Systems, Inc., International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3241233
- Aktenzeichen
- EP15876003
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 8. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/06B23K26/362B23K26/361B23K26/40B23K26/0622B23K26/066B23K26/402
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Suss Microtec Photonic Systems, Inc.
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Fachgebiete
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