Verfahren zur Herstellung einer Fotovoltaischen Zelle mit einem Heteroübergang

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3242335

Aktenzeichen

EP17169271

Anmeldetag

3. Mai 2017

Veröffentlichung

13. November 2019

Erteilung

13. November 2019

Rechtsraum

EP

IPC

H01L31/0747H01L31/18

Abstract

La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une cellule photovoltaïque à hétérojonction, le procédé comportant les étapes suivantes : - (E1) fournir un substrat en silicium cristallin (101) ; - (E2) implanter des ions d'hydrogène en surface du substrat (101), à travers une première face (103) du substrat (101) ; - (E3) déposer une couche de passivation (105) sur la première face (103) du substrat (101) ; - (E4) effectuer un traitement thermique à une température inférieure à 250°C de sorte que les ions d'hydrogène implantés dans le substrat (101) diffusent vers l'interface (103) entre le substrat (101) et la couche de passivation (105).

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete