Formulierungen zum Postchemischen Mechanischen Polieren und Verfahren zur Verwendung
EP3243213
Art A1
15. November 2017
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3243213
- Aktenzeichen
- EP16735286
- Anmeldetag
- 5. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 15. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/321C11D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar