Strahlungsempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Strukturformung

EP3244262 Art A1 15. November 2017

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3244262
Aktenzeichen: EP16735039
Anmeldetag: 5. Januar 2016
Veröffentlichung: 15. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/16G03F7/20G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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