Halteanordnung zum Tragen eines Substratträgers und eines Maskenträgers Während einer Lagenabscheidung in einer Verarbeitungskammer, Vorrichtung zur Abscheidung einer Lage auf einem Substrat und Verfahren zum Ausrichten eines Substratträgers zum Tragen eines Substrats und eines Maskenträgers

EP3245311 Art A1 22. November 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3245311
Aktenzeichen: EP15700291
Anmeldetag: 12. Januar 2015
Veröffentlichung: 22. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C16/04C23C14/50C23C14/12C23C16/458H01L51/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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