Verfahren zur Herstellung eines Metallcarbonitridfilms oder Metalloiden Carbonitridfilms, Metallcarbonitridfilm oder Metalloider Carbonitridfilm und Vorrichtung zur Herstellung eines Metallcarbonitridfilms oder Metalloiden Carbonitridfilms
EP3246428
Art A1
22. November 2017
Anmelder: Ube Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3246428
- Aktenzeichen
- EP16737228
- Anmeldetag
- 4. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 22. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/36C23C16/42H01L21/318C07F7/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ube Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ube Industries
Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.
801 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Merkle, Gebhard
München, Deutschland
721
Patente gesamt
32
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte