Vakuumabgassystem und in Diesem Vakuumabgassystem Verwendetes Kanalschaltventil

EP3247907 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3247907
Aktenzeichen
EP16700506
Anmeldetag
6. Januar 2016
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F04C23/00F04C25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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