Modifizierte Kolloidale Kieselsäure, Verfahren zur Herstellung davon und Poliermittel mit Verwendung davon

EP3248941 Art B1 12. April 2023

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3248941
Aktenzeichen: EP16740167
Anmeldetag: 19. Januar 2016
Veröffentlichung: 12. April 2023
Erteilung: 12. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/146H01L21/304C09K3/14B24B37/00B24B37/04C01B33/148C01B33/149

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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