Rückstandsentfernung aus Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis

EP3251760 Art B1 9. April 2025

Anmelder: Bruker Nano, Inc., Rave LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3251760
Aktenzeichen
EP17172132
Anmeldetag
22. Mai 2017
Veröffentlichung
9. April 2025
Erteilung
9. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B08B7/00G03F1/82G03F1/84G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Bruker Nano, Inc.
Rave LLC
Land
🇺🇸 USA

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