Einheit zum Elektrostatischen Entladung

EP3252804 Art B1 19. Mai 2021

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH & Co. KG, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3252804
Aktenzeichen: EP16172947
Anmeldetag: 3. Juni 2016
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Erteilung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677

Abstract

The present invention refers to an electrostatic discharge unit especially providing an easy and flexible upgrade of existing modules and treatment devices to enable an efficient discharge of substrates. Furthermore, the present invention refers to the use of such electrostatic discharge units and a method of discharging substrates using such electrostatic discharge units.

Anmelder

Firmen: MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Atotech Deutschland GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

482 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

545 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von