Substrathalterempfangsvorrichtung

EP3253907 Art B1 20. Juni 2018

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3253907
Aktenzeichen
EP16750746
Anmeldetag
4. August 2016
Veröffentlichung
20. Juni 2018
Erteilung
20. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/00C25D17/06H05K3/24H01L21/68H01L21/687C25D21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

482 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

545 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

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