Vorrichtung und Verfahren zur Plasmazündung mit einer Vorrichtung mit Eigenresonanz

EP3254302 Art B1 7. Juli 2021

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3254302
Aktenzeichen
EP16746990
Anmeldetag
27. Januar 2016
Veröffentlichung
7. Juli 2021
Erteilung
7. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J61/54H01J37/32H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
O'Callaghan, Robert James Sevenoaks, Großbritannien
167
Patente gesamt
29
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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