3D-Gedruckte Kammerkomponenten für Geringere Filmspannung und Geringere Betriebstemperatur

EP3254305 Art B1 10. Mai 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3254305
Aktenzeichen: EP16746946
Anmeldetag: 15. Januar 2016
Veröffentlichung: 10. Mai 2023
Erteilung: 10. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B33Y10/00B33Y80/00H01J37/32H01S5/022// B22F10/14B22F10/18B22F10/25B22F10/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von