Pressgeformte Gegenstände mit Umlaufenden Oberflächen mit Reibungsverbessernden Mustern für Substratkontakt bei Nasschemischen Verfahren

EP3254306 Art A1 13. Dezember 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3254306
Aktenzeichen: EP16746947
Anmeldetag: 15. Januar 2016
Veröffentlichung: 13. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B08B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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